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PVD和CVD两种工艺的对比
技术讨论

PVD和CVD两种工艺的对比

概述:同PVD工艺相比,CVD的最大优势就是良好的阶梯覆盖性能,同时具有便于制备复合产物、不需高真空和淀积速率高等优点。CV ...

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